Hager + Elsässer realisiert Prestigeprojekt für russischen Halbleiterproduzenten

Für die Erzeugung chemischer Lösungen wird Reinstwasser verwendet

Wasser ist eine der wichtigsten Komponenten bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten. Reinstwasser wird für die Erzeugung chemischer Lösungen, das Ätzen von Werkstücken und andere technologischen Prozesse sowie für das Spülen der Kristalle auf Platinen verwendet. An die Qualität des in der Mikroelektronikindustrie verwendeten Wassers werden besonders hohe Anforderungen gestellt.
Die aktuellen Normen für die Herstellung von Halbleitern unterscheiden vier Wassertypen in Abhängigkeit von der Größe der Halbleiterelemente, bei deren Fertigung das Wasser zur Anwendung kommt. In der UPW-Anlage von Angstrem-T am Standort in Zelenograd wird Reinstwasser für Strukturgrößen mit 90 bis 130 nm erzeugt.
Zusätzlich besteht noch eine Reserve für den Fall des Übergangs auf Technologien mit Strukturgrößen von 65 nm und kleiner. Denn je kleiner der Nanometer-Bereich der herzustellenden Produkte, umso höher die erforderliche Reinheit des Wassers für den Herstellungsprozess. „Die Qualität des Reinstwassers hat in der Halbleiterindustrie stets einen entscheidenden Einfluss auf die Produktqualität und die Effizienz des Fertigungsprozesses.
Schließlich bestehen 30 % der Prozesse aus dem Spülen von Siliziumplatten“, erläutert Anatoly Sukhoparov, Geschäftsführer der Angstrem-T AG. Die Planungen für die neue Anlage begannen im April 2013. Insgesamt hat der russische Halbleiterhersteller ca. 11,5 Mio. € in die neue Anlage investiert, wobei Hager + Elsässer eine schlüsselfertige Anlage bereitstellte – von der Konzeption bis zur Inbetriebnahme.
Die von Hager + Elsässer installierte Anlage besteht aus mehreren Aufbereitungsstufen, die das Wasser auf die erforderliche Qualität bringen: Vorreinigung, Entsalzung, Tiefenreinigung (Deionisierung), Entgasung, Behandlung mit UV-Licht, Ionenaustausch und Ultrafiltration. Für die Vorbehandlung des Rohwassers kommen ein Mehrschichtfilter und ein Aktivkohlefilter zum Einsatz. Im Prozessschritt „Make-up“ wird das vorgereinigte Wasser mithilfe der Prozesskombination aus Umkehrosmose und einer zweistufigen Elektrodeionisation (EDI) von unerwünschten Partikeln, organischen und anorganischen Verunreinigungen und Ionen befreit.

Die abschließende Endreinigung erfolgt im sogenannten Polishing-Loop

Ein spezieller Bor-Polisher sorgt für die Einhaltung der Bor-Spezifikationen gemäß der Richtlinien der „International Roadmap for Semiconductors“. Die abschließende Endreinigung erfolgt im sogenannten Polishing-Loop. „Dieses zweistufige Verfahren hat eine besonders hohe Reinigungswirkung. Es ermöglicht bedeutend längere Standzeiten und damit Ersparnisse beim Harzwechsel im Polisher und bei der Regeneration“, erklärt Eugen Martens, Projektmanager von Hager + Elsässer.
Die neue UPW-Anlage entfernt nahezu alle anorganischen und organischen Begleitstoffe und Ionen aus dem verwendeten Grundwasser. Somit erfüllt das Verfahren die strengen Anforderungen im Hinblick auf möglichst geringe Rückstände.

Neuer Ansatz gegen Nitrat im Trinkwasser

Nitratdünger steigert Ernten, belastet aber das Trinkwasser. Forschende der Universität des Saarlandes und der Universität Graz entwickeln nun eine Membran, die Nitrat nicht nur filtert, sondern möglichst zu harmlosem Stickstoff umwandelt.

Emschergenossenschaft investiert in Hochwasserschutz und Gewässerumbau

Die Emschergenossenschaft treibt zentrale Projekte zur Klimafolgenanpassung im Ruhrgebiet weiter voran. Im Fokus stehen der Ausbau des Hochwasserschutzes sowie die ökologische Verbesserung von Gewässern wie dem Hörder Bach oder der Aspelflötte. Dafür plant der Wasserwirtschaftsverband jährliche Investitionen von rund 300 Millionen Euro. Aktuelle Maßnahmen reichen von der Sanierung der Emscher-Deiche bis hin zu umfangreichen Renaturierungsprojekten in Dortmund und Bottrop

„Der Mensch bleibt die letzte Entscheidungsinstanz“

Die Wasserversorgung steht längst mitten im digitalen Umbruch – doch je stärker Systeme, Daten und Prozesse vernetzt werden, desto größer werden auch die Angriffsflächen. Dr.-Ing. Dirk Waider, Vorstand von Gelsenwasser, spricht im Interview über Cyberbedrohungen, Datensouveränität, die Rolle von KI als Entscheidungshilfe und die Frage, wie sich Versorgungssicherheit in einer zunehmend fragilen Welt realistisch organisieren lässt.

Der Wassertwist

Forschende der Abteilung Physikalische Chemie am Fritz-Haber-Institut und der Freien Universität Berlin machen die Anordnung von Wassermolekülen an der Grenzfläche von flüssigem Wasser zu Luft sichtbar. Ihre Erkenntnisse helfen die Chemie an der Grenzfläche besser zu verstehen, die maßgeblich durch die spezifische Anordnung der Wassermoleküle bestimmt wird. Die Studie zeigt, dass besonders ein bisher vernachlässigter Parameter von grundlegender Bedeutung ist: der Wasser-Twistwinkel.

Antibiotikaresistenzen: Städtische Seen stark betroffen

Ein Berliner Forschungsteam untersuchte Wasser- und Sedimentproben aus mehreren Gewässern sowie einer Kläranlage. In städtischen Proben fanden sie besonders viele Antibiotikaresistenz-Gene; am stärksten belastet waren Zu- und Abflüsse des Klärwerks. Resistente Keime traten jedoch auch in ländlichen Seen auf.